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电子束检测设备新闻

东方晶源的8英寸关键尺寸的量测装备现正式交付给客户

公开信息显示，东方晶源是国内电子束检测、量测设备领先厂商，曾承担国家02重大专项—电子束硅片图形缺陷检测设备研发与产业化项目并验收通过;首台套电子束缺陷检测设备(EBI)已完成产线验证并获得重复订单。东方晶源在电子束检测、量测领域已填补多项国内空白。 2022-04-02
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